FPC用保護(hù)膜及黃光制程介紹

黃光制程核心技術(shù)-微影技術(shù)

   微影技術(shù)(Lithography）是將光罩(Mask) 上的圖案先轉(zhuǎn)移至PR（ photo resistance，光阻，F(xiàn)PC行業(yè)中叫干膜或者感光膜）上，再以溶劑浸泡將PR受光照射到的部份加以溶解或保留，形成和光罩完全相同或呈互補(bǔ)的光阻圖。

   微影制程的環(huán)境照明光源是黃光，而非一般攝影暗房的紅光，所以這一制程常被簡(jiǎn)稱為“黃光”制程。

   黃光制程可主要制程可分為PR涂布，曝光，顯影和蝕刻從而得到需要的線路圖形。

FPC黃光流程

• 整面
  

• 目的：

  防止異物殘留在銅面上造成線路不良。
  增加銅面的粗糙度，利于銅面與感光膜的結(jié)合。
  

  
  

• 反應(yīng)機(jī)理：
  

  微蝕刻槽藥水: AD485（Na₂S₂O₈  + 安定劑）、 H₂SO₄

      Na₂S₂O₈+Cu=Na₂SO₄+CuSO₄

       CuO+H₂SO₄=CuSO₄+H₂0

     控制濃度：

        AD485 :50-80g/L    Cu²⁺:10g/L  

• 感光膜層壓

• 目的：
  

      在基材上貼上感光膜,為形成線路做準(zhǔn)備。

• 感光膜構(gòu)成：

• 感光膜工藝流程：

      熱壓滾作用:通過(guò)溫度與壓力將感光膜與基材充分壓合,壓合溫度為100-110°C.壓力為0.3Mp

      真空倉(cāng)作用:防止感光膜異物以及氣泡產(chǎn)生. 真空度為95— 105

• 高精度曝光（露光）

• 目的：

  將ＵＶ光通過(guò)制定的玻璃面罩照射在需形成線路的感光膜上,使其固化

• 工藝流程：
  

• 說(shuō)明

  曝光版GLASS MASK 分為大板和小板，對(duì)應(yīng)的曝光機(jī)也不同。

• 長(zhǎng)尺顯像（顯影）
  

• 目的：

  通過(guò)控制顯影時(shí)間，以弱堿顯影液實(shí)現(xiàn)顯像

• 機(jī)理：

  將（正）光阻被曝光的那部分快速溶解在顯影液中，未被曝光的則緩慢
  

  溶解（負(fù)光阻則正好相反，被曝光的那部分緩慢溶解在顯影液中，未被曝光的則快速溶解）。一般常用的顯影液碳酸鈉 6.5-7.0g/L

  

• 蝕刻

• 目的：

  用蝕刻溶液（氯化鐵、氯化銅等）將銅溶解

• 機(jī)理：

  

  
  

• 蝕刻因子：

  蝕刻液在蝕刻過(guò)程中，不僅向下而且對(duì)左右各方向都產(chǎn)生蝕刻作用，側(cè)蝕是不可避免的。側(cè)蝕寬度與蝕刻深度之比稱之為蝕刻因子。把側(cè)蝕完全杜絕掉，目前在業(yè)內(nèi)是做不到的，我們只能將其降到最低。通常通過(guò)改變壓力、速度、溫度等參數(shù)來(lái)改變側(cè)蝕量的。

泰侖FPC用保護(hù)膜介紹

• 高溫承載膜：

  應(yīng)用于Panel To Panel工藝，單面板在銅面貼干膜的同時(shí)，在PI面貼承載膜

  
  

• 轉(zhuǎn)貼膜：

  小片貼輔料輔材轉(zhuǎn)貼用主要是針對(duì)小面積輔材，包括覆蓋膜，補(bǔ)強(qiáng)，屏蔽膜或其它感壓型輔料等轉(zhuǎn)貼用。有效提高加工效率和產(chǎn)品良率。

  

• 沖切承載膜：

  FPC在沖切外形之前，先將其貼在涂布有弱粘性的PET膜上，再用刀模進(jìn)行半切外形加工(嵌入式?jīng)_切)，就這樣原封不動(dòng)交給用戶，用戶可以把FPC取下來(lái)組裝，也可以先進(jìn)行組裝，組裝結(jié)束后再?gòu)腜ET膜上取下來(lái)。

• 出貨保護(hù)膜：

  具有防止折損功能的表面保護(hù)材料，采用了具有一定挺度的PET作為基材，滿足不同粘性要求，產(chǎn)品系列化的表面保護(hù)材料。把PET雙層包裝膜分開(kāi)，有粘性的一面固定在臺(tái)面上，將產(chǎn)品整齊排列在有粘性PET雙層包裝膜上，粘滿后粘上離型膜，用手壓平。包好一疊后上、下層放FR2隔板固定。用大膠袋裝好，封口機(jī)封口，粘貼合格標(biāo)簽裝箱入庫(kù)。